• Quality China品质中国系列主题活动 ——微纳米测量实验室环境评价与控制技术交流会

    2017年09月01日 10:00 - 12:30

    深圳市计量质检院国检中心4楼国际会议厅

会议回顾

误差不可避免,但是做到这些可以有效提升测量精度

 

2017年9月1日,由深圳市计量质量检测研究院联合美国TMC公司、深圳市机械行业协会、深圳机械展举办的“品质中国系列主题活动——微纳米测量实验室环境评价与控制技术交流会”如期举行。来自各协会及制造企业代表70余人,齐聚深圳,共同探讨以扫描电镜、透射电镜为代表的微纳米检测设备,如何通过控制实验室环境,达到最佳效用。

20170921093914177_284D1B9FBE01A0B6B37585BAE38AD5A4.png

随着科研、工业领域对精密加工和检测的需求不断增长,扫描电镜等精密检测设备应用越来越广泛,振动、电磁和噪音等环境因素对仪器的干扰也成为使用者头疼的问题。

20170921093949462_F23112C8BEAF8F6AE6A87F7349FD27A7.JPG

来自美国TMC公司的技术经理赵大任与高级工程师迈克·乔治里亚斯,就这三方面环境因素的产生、衡量标准、解决方式和案例解析,分享TMC在控制扫描电镜、透射电镜实验室环境方面的深厚经验。

 

振幅在不同地点的差别可达1000倍

 

赵大任先生在防振动领域有长达20年的经验,作为该环节的主讲,他表示除了行走、电梯、水泵室内设备等明显因素,高楼层面临的风力冲击和建筑的老化都会产生振动。

20170921094015345_3D24E509376FA8839D829000B415A305.png

他分享了自己在台湾新竹的一个真实案例,在实验室本身条件良好的情况下,因为处于地震带,产生的低频振动也足以影响电镜图像的呈现。并说明根据美国光学协会制定的标准,达到50微米/秒以下的环境才基本符合实验室标准,而精密制造业要求更高。

 

目前市面上提供的减振方案,分为被动式和主动式两种,被动式能解决4Hz以上的振动问题,一般内置在电镜设备中;主动式分为软式并联系统及硬式串联系统,前者结构较为简单,能够处理2-3Hz低频振动,而后者则可以处理达到1Hz以下,非常低频的振动。

20170921094045472_03E6E04895FB5377F85298449F60353E.png

TMC出品的硬式串联主动减振器能与所有内置减振系统兼容,通过不同数量的组合,满足不同质量的设备需求,在FEI、蔡司和日立的案例中,可以清楚看到电镜影像在使用减振器后有了极大的改进。

 

完全的消磁效果是不现实的

两位工程师为我们介绍来自工业和自然界不同类型的磁干扰,在水平和垂直方向,分别是如何影响扫描或透射电镜工作的。

20170921094106934_AEE42A058161207AD11A286C679CECF1.png

作为解决方案的主动式消磁系统,主要是通过电流与线圈产生与干扰磁场等量且相反的磁场,在特定体积内能高度有效地达到消磁目标。

20170921094134252_ADDF3A3150325A1C31E1E03B01B3D744.jpg

如某间位于市区地铁附近的实验室,配备的蔡司Gemini 300扫描电镜受高强度的交流与直流磁场造成影像扭曲,在装置了TMC 出品的Mag-NetX消磁系统后,达到99%消磁率,产生更清晰的影像。

 

波长超过1米的噪声对精密仪器造成的问题最大

 

人耳不可听辨的极低频噪声可以被当作压力或气压变化,作用在经过减振的平面会产生震动,从而影响气浮性减振器的的功能,对应的解决方案需包含如下条件:

 

1. 隔音箱必须密封;

2. 必须有足够的刚性抵抗压力波;

3. 必须有足够大的质量。

20170921094158336_5813745683075D0654AEE948869CE808.png

因此一个设计良好的隔音箱才能保证低频条件下达到最佳降噪效果。

 

面对面答疑,直面企业疑难点

 

最后的答疑环节,现场听众纷纷提问,如位于高楼层、公路边是否是造成仪器效能无法提升的原因,或主打低价和小体积的mini电镜,是否有需要配备辅助设备等等。

该类问题得到了两位工程师的专业解答,我们了解到上述三种主要的实验室环境干扰因素,常常同时或交替出现,只有在精准的环境量测后,量身打造的解决方案才可以经济有效地对微纳米环境进行评价和控制。

SIMM在此次会议圆满完成的基础上,也将继续开展Quality China品质中国系列主题活动,通过打造高端、专业、前瞻的交流平台,让加工业在进入微纳米时代后,能更精准、更高效地发挥仪器效用,促进中国精密加工与检测行业的高速发展。

 

 


正在提交数据...

手机号/邮箱登录

手机号/邮箱

密码

验证码

忘记密码?

登录

还没有账号,立即注册

您还没有认证手机,请认证

手机号

验证码

短信验证码

发送验证码到手机

为保证您的账户安全及提供展会相关服务,我们需要对您的手机进行认证。

查看《隐私保护政策》

认 证

您已成为深圳机械展专业观众,请设置您的登录密码

密码:

确认密码:

提 交